显微硬度的测量原理与维氏硬度一样，也是用压痕单位面积上所承受的载荷来表示的。只是试样需要抛光腐蚀制成金相显微试样，以便测量显微组织中各相的硬度。显微硬度一般用HM表示。
显微硬度测试用的压头有两种：一种是和维氏硬度压头一样的两面之间的夹角为136°的金刚石正四棱锥压头，。这种显微硬度的计算公式为
图14-8维氏金刚石棱锥压头       努氏(Knoop)金刚石棱锥压头 
式中：P——载荷(g)；
            d——压痕对角线长度(μm)。
显微硬度值与维氏硬度完全一致，计算公式差别只是测量时用的载荷和压痕对角线的单位不同造成的。
图14-9中还表示了另一种显微硬度压头。这种压头叫克努普(Knoop)金刚石压头。它的压痕长对角线与短对角线的长度之比为7.11。克努普显微硬度值为：
式中：P——载荷(g)；
            L——压痕对角线长度(μm)。
显微硬度如用kg/mm2为显微硬度的单位时，可以将单位省去，例如HM300，表示其显微硬度为300kg/mm2。